Tecniche per il vuoto e film sottili

VUOTO

Cosa è il vuoto?

• Idealmente: uno spazio che non contiene niente.
• In realtà: qualsiasi cosa che ha pressione inferiore a quella atmosferica.
• In pratica: qualsiasi corpo che ha un numero di particelle (atomi, molecole, ioni) per unità di volume minori rispetto a quelle dell'atmosfera che lo circonda.

Definizione Storica:

• Si dice un gas prellevato di pressione, il corrispondente stato nel quale la pressione è da considerarsi uguale o minore della pressione atmosferica, e il corrispondente volume o spazio in cui si prende tale pressione si descrive come vuoto.

Pressioni più basse misurate sulla superficie terrestre.

Come si misura il vuoto?

Un gas in un contenitore esercita una forza sulle pareti del contenitore.

• P = F / A
• [ P ] = Pa

-> Sistema Internazionale

Se la pressione è bassa si pensa a densità di particelle e cammino elettronmedia.

Convenientemente:

1 mbar = 100 Pa = 1 hPa 1 Torr = 1,3.3 2 Pa

Un Pascal è la pressione esercitata da una forza di 1 N perpendicolarmente a una parete di superficie 1 m².

Range di Vuoto

• Rough
• Medium
• High (HV)
• Very high (VHV)
• Ultra high (UHV)
• Estrema (XHV)

Maggiore è il vuoto e minore è il contaminamento.

Pressione < 10^-6 - eliminare completamente l'emissione di particelle ossidate.

P < 10^-12

Vorto di particelle non attireranno contro qualcosa.

Il vuoto esiste in natura - atmosfere, funare (10^-6 Pa), spazio interstellare.

(~ 5.10⁵ molecole/m³), spazio intergalattico (1 molecola /m³).

Vuoto

Cos'è il vuoto?

• Idealmente: uno spazio che non contiene niente.
• In realtà: qualsiasi cosa che ha pressione inferiore a quella atmosferica.
• In pratica: qualsiasi regime che ha un numero di molecole _g/_m rispetto all'unità di volume minori rispetto a quelle dell'atmosfera che si circonda.

Definizione storico-culturale:È uno stato ideale: è il corrispondente stato nel quale la pressione è da...

pressioni più bassi misurate sulla superficie terrestre

Com'è misurato il vuoto?

Un gas in un contenitore esercita una forza sulle pareti del contenitore:

• P = F/A
• [J]/[m]² = Pa

Se la pressione è bassa si passa a densità di particelle & cammino elettronmedia.

Convenzionalmente:

• 1 mbar = 100 Pa = 1 hPa
• 1 Torr = 1,333 hPa

Un Pascal è la pressione esercitata da una forza di 1 N applicandola ad una parete di superficie 1m²

Regime di vuoto

• Basso:
• Range pressione:
• 33.9 < P < 10³
• Operazioni:
• aspiratore
• Medio:
• Range pressione:
• 10^-3 < P < 33.3
• Operazioni:
• essicatore a vuoto
• essicatore ad anello
• Alto (HV):
• Range pressione:
• 10^-6 < P < 10^-3
• Operazioni:
• microonde di microonde
• Very High (VHV):
• 10^-8 < P < 10^-6
• Ultra High (UHV):
• 10^-10 < P < 10^-8
• Estremo Eraulughgh(XHV):
• P ≤ 10^-12

Maggiore è il vuoto e minore è il contaminamentoPressione < 10^-6 = eliminare completamente il disegno di particelle ossidareP < 10^-12 = nessun tipo particella non interagisce contro qualcosa

Il vuoto esiste in natura = atmosfera lunare (10^-12 Pa), spazio interstellare(Π < 5×10^-7 molecole/m³), spazio intergalattico (1 molecola)/(m^-7)

perchè si usa il vuoto?

1. Si riducono le collisioni tra gli atomi (aumenta il cammino libero medio)

cammino libero medio

_{λ α}

₁

_P

λ α

_T

√_SP

P(number)

2. Riduzione delle contaminazioni

(es. ablatore all'atmosfera) più la pressione è bassa, minore è la contaminazione

ruvidezza

_{della superficie}

durata del

_processo

di deposizione

a vuoto inferiore

traj

da un atomo neutro alto e più fa la deposizione a vuoto inferiore

durezza alta: meglio film multistrato

3. Diminuisce la temperatura di