Misuratori di pressione ricerca di fughe e pulizia delle superfici

MISURATORI DI PRESSIONE

< pressione parziale:

pressione totale:

• Analizzatore gas residuo
• Diretta: misura del liquido in una colonna
• Indiretta: misura del movimento di particelle solide

I vacuometri hanno diversi campi di pressione.

Il vacuometro va scelto chiaro...

Misura diretta della superficie del liquido

• U-tube -> pressione di altezza della colonna
• range da Patm a 10^-1 mbar

L’indiretta dei capillari è in scala quadratica:

• McLeod gauge -> ...un ingresso esterno...

• range di misura 10² - 10^-6 mbar

Dispositivi di misura

• Perturbare, poi migliorare le gamme.
• Edosoro gauge -> ... a mercurio
• range di misura 1000-10^-4 Pa

Solid surface diode vacuum gauges

• Bourdon gauge -> ... in pressione che in depressione
• Patm - 10^-5 mbar

Va misurato alto per basse pressioni.Il perturbato quindi non bisogna superare le gamme di utilizzo altrimenti si stara.

Vacuumetro condittivo

10⁵ - 10^-4 mbar

Deflessione della membrana da una misura diretta della pressione

Vacuumetro collegato all'atmosfera

Vacuumetri a misura indiretta di conduttività termica

• Pirani: misurazione della conduttività media del sistema. Rivelamento del valore del vapore d'acqua.
• Consulazione ai supporti
• Calor ceduto al gas
• Di dipende dal tipo di gas (α m√M/2)
• 1.6 pressione (mbar)

Fenomeni a rotazione e collegamento

• Pirani: 2 filamenti di Caldo e 2 bracci del ponte di Wheatstone
• Quota determinazione del calor al gas ad alta pressione
• Gas bianco sul vuoto attivo
• Temperatura costante
• Tabella su ponte
• Gamma di pressione = 10⁻³ ÷ 100 mbar
• Usano range diverso e molto alto
• Possono essere usati senza dover una camera di controllo tra pompa primaria e secondaria
• Poco tempo reale alle temperature estreme
• Mancanza ai termocoppie

Filamento accolatre e termocoppia di lettura

• Gamma di misura = 10⁻² ÷ 10⁻³ Torr

Ionizzazione = muro incolato - imbibile dalla accrescendo dei ioni generati

• Calda cattodo gauge - Penning
• 10⁻² ÷ 10⁻³ mbar gas residuo

Emissione del campo magnetico

• Consunta dai urtamenti e campionati degli elettronici

• Aumentano della possibilità di ionizzazione

Gamma di pressione = 10³ mbar - altrimenti avere del plasma ad alte pressioni

• Dipende dal tipo di gas
• Non produce gas redirimi, se non si depura
• Un filamento accolatre contro accetto c come emette eletrici

Relazione tra corrente ionica e pressione

• T_i = K ϵ_m e_d

Somma del caloramento estremamente tramite e vacuamente perché districkereta di fondere

Problema dell platina X

RICERCA FUGHE

Prove da sistema ad alta pressione ad uno a pressione inferiore:metodo del gonfiamento a bassa pressione (es. cambio le bolle

Leak: usato per identificazione della posizione e la determinazione dimensionegeneralmente si usa water, para o ad alcance e non è contaminante

Leak muto: normalmente la pressione della camera da vuoto non scende mai sotto del valore di equilibrio:1. per eliminare la quantità di gas presente, la quantità che esce dalla perdita2. per determinare la dimensione usata prima per volo/gas di passaggi maggiori 63. per eliminare la perdita4. bisogna pressioni nel UHVC e XHV e indispensabile eliminare anche le

Peak dimensione = riposizionare del diametro del foro al tempo diverso Pascal/il atmosferica elt rete pressione della Peak↓determinazione -2nimadetermina - dimensione

Limite di riesumante: dipende dalle dimensioni del gas inustrio

metodo di risalita della pressione:per leak piccolotempo contato all’alter e contenitivo dell’outgassing↓ misure integrale↓ identificare il angolo permiso l’interesse per peak piccolo

metodo del gasmist: eliminato perché perdite piccole richiedono tempo maggiore (es.) 10-4 del bollo /5 minuti

metodo di salita della pressione

• Si porta il vuoto al recipiente da testare; esempio: un bel movimento, minore la pressione.
• Si isese il recipiente colato o multilaterato nel pompaggio: esriscaldo la curva di risalita della pressione
• La pendenza delle curve di stabilità risultataproporzionale alla perdita totale presente nelsistema

La pendenza dei linie l’estessorango e può è 10-7/6 mbar e l’sminima quantità ma non di capacedi facilitaziosi usato i sistema da vuote no minmisuramento aggiuntivo

grafico:1) perdita2) alleging3) perdita per allegingasi

per determinaire le perditedello stratto re conoscenze(outgasing)

Valvole ➔ controllando il vuoto nel sistema.

Con, pre-riduzione da portata (es., ridurre la velocità di pompaggio) ➔ diminuisce la quantità di gas sulla turbomolecolare.

(Gate valves) ➔ Valvola di isolamento o di sicurezza

_{0 – baking esiste per rimuovere il gas sulla superficie interna}

Peak rate tipo 10^-5 mbar l/s

bakeabile fino a 120°C

elettromagnetiche o pneumatiche

Valvole a processo ➔ utilizzate per introdurre gas

All metal valves ➔ giunzione di chiusura ottica metallo su metallo (no con viton)

posizionate tra l’anodo e un anodo fisso

valvola metallica che apre e chiude

bakeabile fino a 300°C

Peak rate 10^-9 mbar l/s

➔ Angle valve ➔ tenuta ottica su metallo

bakeable fino a 120°C

Peak rate 10^-5 mbar l/s

Leak valves ➔ perdite controllate (non adempiono portate a pressione a flusso)

baking per rimuovere il gas stazionato

bakeabile fino a 150°C

permisso di creare perdite controllate e dalle all metal valves

Peak rate 10^-9 mbar l/s

Valvole a stilo ➔ valvola di regolazione

proprio libere medie a temperatura sulla torsione punta conica che può alzarsi o abbassarsi per aumentare o diminuire le permeo del gas

Diaphragm valves ➔ movimento dello stantuffo che permette il gas in ingresso

Mass Flow Controllers ➔ regolatori doppio autroromotico

usato quando il numero di gas elevato