Misuratori di pressione ricerca di fughe e pulizia delle superfici

MISURATORI DI PRESSIONE

• pressione parziale
• pressione totale
• ionizzazione gas residuo
• diretta
  • misura del liquido in una colonna
  • misura dello spostamento di particelle solide
• indiretta:
  • misura conduttività termica
  • misura viscosità
  • ionizzazione gas residuo
  • misura della corrente ionica

I vacuometri hanno diversi campi di pressione. Il vacuometro va scelto anche in funzione dell’utilizzo finale e al tipo di gas da utilizzare.

Misura diretta della superficie del liquido

• U-tube → pressione di altezza della colonna

p = ρgh

range da Patm a 10^-2 mbar → poco performante

• McLeod gauge → con un ingresso esterno per cambiare il livello della colonna metodo da lasciare in range di misura

range di misura 10² a 10^-6 mbar

• Ion gauge: p = (A/V) h₂ (ρg)₂
• R Rev: p = (A/V) ln (ρg) ²

• Ecodor gauge → a mercurio

range di misura 1000 – 0,1 Pa. Il sistema viene ruotato e si vede il livello della colonna.

• Solid surface directed vacuum gauges

Patm - 10^-5 mbar

• Bourdon gauge → Ruotano sia in pressione che in depressione scala di mbar/torr → scala interna.

tubo piezometrico ad alta pressione sintetiche e lo devono i tubi a speciale e portante quando non si devono superare le range di utilizzo altrimenti si sta

• Vacuumometro conduttivo 10^-4 a 10^-1 mbar

Pressione interna da vuoto pressione di riferimento

la deflessione della membrana da una misura diretta della pressione perm-exit-relazione: vacuometro collegato direttamente all’atmosfera abbatte: pressione di riferimento costanteNecessario che sia superiore a quella della sensibilitàNon dipende dal gas ne dal tipo di processo (non interferiscono)

MISURATORI DI PRESSIONE

• pressione parziale
• pressione totale

Analizzatore gas residuo

• diretta
  • misura del liquido in una colonna
  • misura dell’incremento di particelle solide
• indiretto
  • misura conduttività termica
  • misura viscosità
  • ionizzazione gas residuo
  • misura della corrente ionica

I vacuometri hanno diversi range di pressione.

Il vacuometro va scelto dunque in funzione dell’utilizzo, in base al tipo di gas da utilizzare.

Misura diretta della superficie del liquido

• U-tube → pressione di altezza della colonna
  • ^p/_ρg
• range da Patm a 10^-2 mbar
  • poco performante
• McLeod gauge → con un ingresso esterno per cambiare il livello della colonna, in modo da lasciare il range di misura
• range di misura 10^-2 ÷ 10^-6 mbar

Particolare dei capillari in scala quadratica

1. particolare dei capillari in scala lineare
   • ρ = (^AA'/_V) h² (^a/₂)²
2. Edson gauge → a mercurio
3. range di misura 1000 - 0.1 Pa
4. Il sistema viene inclinato e si vede il livello della colonna
5. Solid surface direct vacuum gauges
   • Patm - 10^-3 mbar
6. Bourdon gauge → Ruotano sia in pressione che in depressione (anche il suo interno)
7. tubo a pressione alta per economico e di dieletto
8. Il piezometro quindi non bisogna superare le range di utilizzo altrimenti si sfasa.
9. Vacuumetro conduttivo 10^-4 ÷ 10^-6 mbar
10. pressione esterna da vuoto
11. pressione di riferimento
12. in deflessione della membrana dà una misura diretta della pressione
13. Reazione → Vacuumetro collegato all’atmosfera, catodo: pressione di riferimento, anodo riscaldato.
14. Necessitano un altro catodo con posizione inferiore a quella della sensibilità.
15. Non dipende dal gas ma dal tipo di processo (non interferiscono)

Vacuumetri a misura indiretta di conduttività termica

• Pirani: _superiori della conduttività del sistema

Conduzione ai supporti

• W_t - W_R - W_c - W_e

V

1. press
2. ione (mbar)

fenomeni di radiazione e collegamento

• Pirani: è formato da bobina e un braccio del ponte di Wheatsto