CVD deposizione chimica a fase vapore - riassunto

Appunti evidenziati con definizioni e formule sulla CVD deposizione chimica a fase vapore: step fondamentali, diversi tipi di flusso nel reattore, dispensazione del precursore, adsorbimento (chemisorbimento e fisisorbimento), reazione di superficie, cinetica, plot di Arrhenius, controllo cinetico e controllo di temperatura, determinazione dello spessore da UV-Vis, mass flow controller.

Esame Laboratorio di preparazione e caratterizzazione dei materiali

Facoltà Scienze matematiche fisiche e naturali

Dal corso del Prof. Agnoli Stefano

Università Università degli Studi di Padova

Publisher .aaaraS

A.A. 2022-2023

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Scienze chimiche CHIM/06 Chimica organica

I contenuti di questa pagina costituiscono rielaborazioni personali del Publisher .aaaraS di informazioni apprese con la frequenza delle lezioni di Laboratorio di preparazione e caratterizzazione dei materiali e studio autonomo di eventuali libri di riferimento in preparazione dell'esame finale o della tesi. Non devono intendersi come materiale ufficiale dell'università Università degli Studi di Padova o del prof Agnoli Stefano.

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