Nanotecnologie, Nanofabbricazione

Introduzione

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Def. di unità meccanica quantistica vs meccanica classica. L=100nm. Oscur corpo consiste di strisce elementari, ciascuno suggestivo d'un minio scambio equivamentare punuti traslazione, lo che l'equazione d'onda aderando freq di vibrazione, e de campo, pos essere compostulo d'una T e sumintu la compatta in un importante (composto dipolo e torsazione) perturb. Radiazione e corporea: (R) riflessa. Assorbite (T) trasmessa. RIHT= Ricorpondinde a un corpo de sun R T e ma lo spettro d'atore, è qulinkdi viene trisdiciotto, ambentro lo spinto. Non cozo lo espressione lti som poti (lo perzoce e I caso zero λ e o a trasv e I per costiture

ammesure indiz, lo ke una ma im modo°o fata le radiazioni ammesse. Lo sono (radianz) di corp bu, è l'energia (_{SPETTRO di CORP})

Lo leggea di Strelz Boltzman conënte/T*, e in uno stato di portanza, legge di Stefru-Boltzmann, dell'ir diemienda tridata di zona ammesse. del corpo nuzo.

I = σ T⁴ [W/m²] σ: cost. di Stetrzons Tλ: temp: absolutea e Si misurea in Koalvin ad T₁ e T₃ e rispettive porzie:

Con la diminuiz'n inzena di temperatura e viuss la λ₁ e la e la sua intensitè. La legge semplice in xeeb le ampiezzo triello massima coo la temperatoria

Con plank si interseco il concio di quanto, espresso in funziona di ζq(st. d', plank) e V (pern θella tensato), succci cosi extensa e l'vententi l delle zprto emmesse. Specifitò con P emess da unitarea ovamentoa, ma questo te consant' do speciòre de.F'erfeon Fortenorrio Spiega la note della natura della tra onde elettromag

L = λ - λ_P RP

E=hu-λ

Tresciold del materiale Spiega la natura duale tra onde elettromag e fotoni

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Principio di indeterminazione di Heisenberg, altro concetto della meccanica quantistica. Se esaminiamo una particella e le sottoponiamo ad irraggiamento di una sorgente di luce otteniamo delle bande luminose scure. Se sostituiamo come sorgente di luce una diversa sorgente irradiante e lo scopo dell’esperienza, otteniamo che la particella si volerà spazialmente, onde se i elettroni si posano negli spazi. I ovvero andiamo a pensare dove si trovi la particella. Abbiamo quindi due possibilità:

1. Se sostituiamo la sorgente dello spazio, per effetto Compton, modificando la sua energia e direzione.

   • Per uscita della quantità di moto dovremmo usare una lunghezza d’onda lunga, ma perdiamo la posizione.
   • Per uscita della posizione dovremmo usare onda corta, ma perdiamo impulso energia.

La formulazione d'onda di quantizzazione è:

Δx. Δp ≥ ħ / 2

dato Δx disposizione sull'onda misura della posizione Δp disposizione sull’onda misura della quantità di moto o posizione.

Questo concetto decanta la seconda rottura profonda con la meccanica classica, quindi la rottura può essere vista e interpretata insi... l’ equazione di Schrödinger, sono la legami che se noi troviamo. La meccanica classica, con questo principio, comportando il portare alla subatomica, e non posso più parlare in modo classica ma in modo dimensionale la meccanica quantistica.

La verifica delle previsioni su velocità, e osservato quello particelle, e fluido e osservato a quello reali, considerando anche dimensionale (particelle stesse) ed é un seguito alle differenze corrispondenti. Secondo de Broglie ^r (secondo onda) in uno stato se l’energia che deriva.

ħ² d² Ψ(k) / 2m d²k + V(k) Ψ(k) = E Ψ(k)

in generata può essere vista come E - Energia cinetica & potenziale

Energia di stato della particella

Struttura dei solidi, reticoli cristallini

slide 2.3

Questa alle appunto descritta prende il nome di celle elementare che si: reputa perfettamente in tutte e 3 le dimensioni; l'unione del volume sono chiamati nodi esistono possbilità del selezion di 14 tipi (BRAUAIS) che rappresentano costinguino appunto tutti tipi possibili di simmetria (appartmenti, cubico, esago) dei nodi della celle con si imoidi di base. Filameto nodo definiamo il num. di atomi con in un contenuto che si sgenga con proiezione dei tipi di latore di volume del ogiva, congelazione la base dell'elementare. - Fantasia di simmetamento il rapporto del among delle collone legare se dove occorre porti della motura.

• Fi = _ACVA/Vc/

• AC: numero atoms/cella V_{c: volume cella primitiva AC: num di atom. ^{unit.ital Ve: volumes di unit cello}}

Si peuvent ̃se ̃ti piu ̃ di: - Soubleposizione di magre e intergoo 1. ABABAB: portano uno struono esagone (744 isance di imperebolmente) es KABCABC portano uno strueno base rata from care motante (764rd/ am) e Fe - souscapposin: si major giuseletate, con stre mone colom amabuna

cc 68% si’impermeabilemente 79% dei materiali a cozi

• solo s’istom è centrato e contenuto totalmente: gli _att

• s’apparno per fig

• 6 atoms per foundational

• atoms inviron totalemendo, di 12 c: vertici per upgrades titive (tituvin)

NB; i modeli di Brousis non sono podecabie e solidi stauici e solidi amorfi

Slide 3.3 Nanostrutture e fabbricazione

No mask, fascio già risoluto

Risoluzione in ottica Micrometrica; in elettronica nanometrico

1

• D: contato
• Lente Maschera Wafer

2

• D: prossimità
• Lente Maschera Wafer

3

• D: proiettore
• Lente Maschera Lente Wafer

Qui si sviluppa quando una punto-lente si proietta da una sorgente Lux, in _-ant poniamo la depolarizzazione della lunghezza d'onda, si spray come men e la _ve dassi la ripresa diminuisce; l'effetto sta ponendo come posso allontanare lo spazio mini è proiettare ripresa denominatore ottico:

• massimo principio mini massimo, secondo a minima.
• per co_erenza con lunghezza L, e le ^an i; quindi R_0L la differenza di camminatura è per TA e U

per es a₂ sinus, Q per dove interpretante obiettiva dobbiamo avere a₂ sinθ=;L/2.

L'interferenza può essere osservasse si ripercuote il singolo separo-vimenti obiettivo le camminatura, per necessa come Q è = Fresne m dit fi sempre e fitto della ponderatura.

Il anglo si r_nd=diffrazione dalla e comuni si= x 0

Auv... e il _mem le (frange scure si trovano) a sin⁰= ml

la dinamico del regime centrale sotto pot

a sin s^mp=1.22** lem/(d/a inutile lam); modello quasi peggiore de:

• Kirchok
• Fraunhofer

Fresnel

Le camere bianche

Ambienti definiti " laboratorio pulito", sono ambienti isolati e adibiti per attività, lavorazioni o esperimenti che prevedano la presenza di un ampio numero di micro particelle di polvere.

Per un "buon isolamento" è necessario un ambiente controllato. Alcuni esempi sono: i laboratori chimici, farmaceutici ecc...

Una camera bianca, o Cleanroom in quegli ambienti, devono essere privi di polvere, contaminanti aereodispersi, vapori chimici ecc, con un simile obbiettivo si potrebbero contaminare i vari processi associati.

Il funzionamento si basa su un ricambio forzato dell'aria da due componenti. Un ventilatore che immette una parte aria presa dall'esterno da filtri HEPA (filtro composto da fogli ripiegati di microfibre assemblati in piani stretti, separando le parti più deleterie, quelle ritenute immatteriate e quindi le particelle opposte o polveri.)

L'aria è immessa con molta energia e successivamente reinviata e rimessa per essere pulita nuovamente.

Per buttare le particelle sul pavimento e creando della leggera sovrapressione, utile quando si apre la porta spostando l'aria da dentro a fuori.

Tutto questo per rendere più pulito il lavoro sotto protezione, e gli operatori necessitano di un abbigliamento adatto.

Una classifica in base al numero di particelle che possono mantenere.

Bison pods accolta la portata d'aria portata associata, cassinata, fermandosi lungo camera. Rivolti ad aprirsi in base alla soglia.

Sostituire, ^{Air Volume, e Ricircolo}, si trovano così vicini i materiali che sono composti, e quindi si pensa di rimettere ai periodi successivi.

Bisogna controllare anche i rate di umidità, che può essere rintolimata da camere subordinati.

Passano a 2 ore per portazione, sull'umidità.

L'umidità è abbinata, accedendo come sistema di pompaggiamento della camera (periodi totali un giornata su base di umidità) poi quindi poter garantire una rispinta molto veloce. La pressione di pressione deve essere rientrante portandolo per garantire una spostamento dell'aria nelle varie parti verso gli ambienti subordinati, e livelli così alti.

Questo può essere ottenuto con un classe 1000 particelle verso la bassa mano passata