Scienze e tecnologie dei materiali - processo MOCVD

processo MOVPE, in grado di fornire utili informazioni sugli spessori degli strati

depositati, sulla

loro composizione e sulle caratteristiche della superficie in crescita. Tali tecniche sono

basate su

misure di riflettanza anisotropa da parte della superficie di crescita e prendono il nome

di

Spettroscopia da Riflettanza Anisotropa (RAS).

La fase vapore che arriva nella camera di deposizione è costituita dal gas di trasporto

(idrogeno)

arricchito dai vapori dei composti organometallici o dagli idruri. L’arricchimento con i

metallorganici avviene in seguito al passaggio dell’idrogeno nei gorgogliatori

(bubbler) che

contengono i reagenti metallorganici. I composti metallorganici, infatti, così chiamati a

causa del

legame gruppo alchilico-metallo, sono caratterizzati da tensioni di vapore

relativamente elevate

(circa 100 torr alle temperature di lavoro), e consentono di ottenere basse diluizioni

nel gas di

trasporto, controllate e riproducibili, alto controllo della quantità di precursore inviato

in camera, e

una sensibile riduzione delle prereazioni indesiderate in fase gas.

Altre informazioni relative alla sicurezza sono riportate nello schema seguente.