Relazione Mems microgocce - Tesi

Tesina sulla tecnologia MEMS per microgocce di evaporazione, per l'esame di Microsensori, microsistemi integrati e MEMS del professor Malcovati.
I sistemi MEMS basati sull? effetto della massa risonante
hanno:
alta sensibilita
piccole dimensioni
Adatto a rilevare micro o nano particelle e a monitorare micro-processi fisici e biologici.
Processi fisici di massa.

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